반도체 장비 중에는 전공정과 후공정에 직접 관여하지 않더라도 다양한 장비들이 사용된다. 반도체 공정에 필요한 각종 화학물질들을 공급하는 장치나 진공 상태인 반도체 공정에서 생산 중인 웨이퍼를 정교하게 이송하는 LM 장비 등이 대표적이다.

특히 진공 상태에서 이물질에 민감한 웨이퍼를 이송하는 LM 장비는 최첨단 로봇 기술 및 정밀 감지기술이 요구되는 상당히 정교한 작업이다. 과거 주로 외국산 장비들이 시장을 장악했으나, 2010년 후반 이후 국내 업체들이 시장에 진입하고 있다.

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